Элементы чистых помещений
Чистые помещения применяются в таких областях, как медицина, микроэлектроника, микромеханика и пищевая промышленность.
В медицине операционные, помещения для приготовления лекарственных препаратов, биохимические и генетические лаборатории очищаются от твердых частиц и микроорганизмов.
В пищевой промышленности из производственных помещений удаляются как частицы загрязняющих веществ, так и микроорганизмы.
Чистые помещения применяются в микроэлектронике, космической технологии, тонкопленочной технологии, индустрии производства печатных схем и в смежных направлениях этих областей, где необходимо удаление загрязняющих частиц.
Для обеспечения высокого класса чистоты в локальных зонах – сборочных цехах часто используется такой элемент Чистого помещения как Чистая зона. Набор HEPA или ULPA фильтров и фильтровентиляционных модулей в Чистой зоне образуют Чистое помещение высокого класса чистоты.
В Чистых помещениях содержание загрязняющих веществ в воздухе, на поверхностях стен и потолка должно быть минимальным. Такими частицами могут быть пыль, микроорганизмы, аэрозольные частицы, отработанные газы для анестезии, а также химические пары.
Полностью чистого воздуха в помещении можно достичь только при удалении внутреннего воздуха и подачей отфильтрованного вытесняющего кондиционированного воздуха. При необходимости в Чистом помещении контролируются и другие параметры: температуры, влажности, уровня шума, минимальный расход наружного воздуха, давления и скорости движения воздуха.
Технология Чистых помещений позволяет поддерживать чистоту воздуха на определенном уровне, который в свою очередь зависит от требований технологических процессов, проходящих в них.
Для очистки воздуха в Чистом помещении используются фильтры ULPA (Ultra Low Penetrating Air - фильтр для улавливания мельчайших частиц) или HEPA (High Efficiency Particulate Air - высокоэффективный воздушный фильтр), способных задерживать от 99,95% до 99, 999995% частиц размером менее 0,3 мкм.
Основным принципом обеспечения чистоты является создание в Чистом помещении избыточного давления по отношению к смежным с ним помещениям. Это обеспечивается созданием в нем дисбаланса воздуха, то есть разности между количеством приточного и вытяжного воздуха.