Преобразователь HYDRA-Dry
|
Модель Hydra-Dry Преобразователь для измерения давления особо чистых сред ДокументацияWIKA Каталог продукции Руководство по эксплуатации Типовой лист |
Применение
- Для полупроводниковой отрасли промышленности
- Системы разделения на жидкие химические составляющие
Особенности
- Запатентованная двойная мембрана
- Полностью сухая конструкция: керамический датчик, без передающей жидкости
- Смачиваемые части из перфторалкоксила (PFA)
- Поворотный корпус на 270° даже после монтажа
- Степень защиты IP67
- Опционально: Модель HYDRA-Indicator встроенный индикатор для установки в панель
Описание
Наши приборы измерения давления семейства HYDRA-line разрабатывались в сотрудничестве с известными производителями в области полупроводниковой отрасли промышленности. Вся концепция продукции была разработанна для специальных требований, предъявляемых к технологическому оборудованию и систем распределения особо чистых химических сред.
Датчик давления HYDRA-Dry обеспечивает высокую точность и надежность всех особо чистых, взаимодействующих со средой деталей и поверхностей. Отсутствует заполняющая жидкость, что позволяет избежать вероятности загрязнения процесса.
Кроме того, производство всех смачиваемых деталей, чистка компонентов, калибровки и упаковки происходит в чистом помещении с 100 классом чистоты.
Двойная защита
Запатентованная система двойной мембраны HYDRA обеспечивает надежное разделение датчика давления и измеряемой среды. Одновременно диффузирующие технологические среды, такие как испарения плавиковой кислоты HF или хлороводорода HCI, отводятся в окружающую среду во избежание искажения результатов измерения или разрушения чувствительного элемента.