ДИФФУЗИОННЫЕ НАСОСЫ AGILENT

В качестве мирового лидера в области производства диффузионных насосов компания Agilent выпускает наиболее разнообразное семейство насосов в диапазоне от 2 до 35 дюймов в диаметре и является единственным крупномасштабным производителем, находящимся в США. Диффузионный насос является самым распространенным видом насосов для работы в условиях высокого вакуума и одним из наиболее старых и надежных способов создания вакуума. Поскольку камера сама по себе не имеет движущихся частей, кроме капель масла, вакуумный диффузионный насос может работать стабильно на протяжении длительного периода времени. Во всех диффузионных насосах возникает незначительное обратное течение. Это явление представляет собой миграцию небольшого количества масла, которое перемещается в противоположном направлении, к входному отверстию насоса, в технологический поток, что может быть ступенью электронного микроскопа или камерой для лазерной сварки. В некоторых случаях небольшое обратное течение не оказывает каких-либо негативных последствий; в других случаях, если важна чистота материалов, с обратным течением мириться нельзя. По этой причине в системы обычно добавляют оптически плотную разделительную перегородку различной конструкции для отклонения частиц масла, прежде чем они смогут достичь технологического потока. Диффузионные насосы нашли широкое распространение благодаря своим преимуществам: они надежны, имеют простую конструкцию, работают без шума и вибраций и обходятся относительно недорого в эксплуатации и техническом обслуживании. Фактически, диффузионные насосы по-прежнему являются наиболее экономичным средством создания высокого вакуума. Эти насосы также допускают работу в условиях с избыточным содержанием частиц и при наличии химически активных газов, которые разрушают другие типы высоковакуумных насосов. При надлежащем выборе рабочих жидкостей, ловушек, разделительных перегородок и клапанов диффузионные насосы можно использовать в широком диапазоне прикладных задач и в диапазоне избыточного давления от 10-3 до 2 x 10-11 Торр.

К ключевым характеристикам диффузионных насосов компании Agilent относятся:

• Все вакуумные насосы спроектированы для получения высокой скорости откачки, возможности работы при относительно высоком форвакуумном давлении, получения наименьшего остаточного давления и надежной работы продолжительное время и обеспечивают полное фракционирование испаряемой жидкости в нагревателе и в области генерации паромасляной струи, что значительно уменьшает загрязнение вакуумной системы и повышает производительность насоса.
• Уникальная конструкция нагревателя обеспечивает высокий уровень нечувствительности к обычным изменениям напряжения и к типу различных рабочих жидкостей. Данная конструкция также минимизирует разложение рабочей жидкости, обеспечивая номинальную работу насоса при невысокой температуре нагревателя (ниже 240 °С). Эжекторная ступень насосов обеспечивает возможность работы при относительно высоком форвакуумном давлении, а также большую площадь охлаждаемой поверхности для эффективной дегазации рабочей жидкости.
• Многие задачи имеют специфические требования. Компания Agilent может предоставить дополнительное оборудование, например, современные ловушки для устранения дополнительного обратного потока паров углеводорода, а также змеевик, для быстрого водянного охлаждения для сокращения продолжительности циклов системы.
• Очень важно поддерживать работоспособное состояние, поэтому Agilent упростили эксплуатацию и техническое обслуживание. Смотровое окошко дает возможность визуально определять состояние насоса, является ли он холодным или горячим, либо находится под действием вакуума. Отверстие для установки манометра способствует выявлению неполадок в системе.
• За счет максимальной производительности, допустимой в расчете на единицу затраченной энергии, пониженных требований к водяному охлаждению, а также за счет прочной и долговечной конструкции, выполненной из нержавеющей стали, компания Agilent поставляет насосы большого объема при наиболее низких затратах на их приобретение.
• Успех компании основан на желании помочь клиентам, удовлетворяя самые строгие требования к процессу производства.
• Диффузионные насосы обеспечивают превосходную работу при высоком давлении в условиях большого газового потока и справляются с изменениями загрузки газом, которые типичны на крупносерийном производстве.
• За счет оптимальной конструкции котла насосы компании Agilent работают стабильно и надежно в широком диапазоне условий эксплуатации. Эта температурная стабильность также продлевает срок службы насосов. Реле тепловой защиты предохраняют систему от перегрева.

ПРИМЕНЕНИЕ

Вакуумные печи

Вакуумная печь требует использования насоса, обеспечивающего стабильное давление в среде с большим потоком газа. Кроме того, операторам печи требуются более короткие промежутки времени для эффективной работы с партиями термообработанных материалов. Это становится возможным, благодаря использованию диффузионных насосов компании Agilent, отличающихся высокой производительностью и низкой скоростью обратного потока. Данные насосы применимы при высокой степени дегазации материалов и допускают повышенное переходное давление, что заметно сокращает время циклов.

Металлизация

В системах нанесения покрытий «на лету» и с помощью валика диффузионные насосы компании Agilent способны откачивать газ при высоких нагрузках, что делает их лучшими для систем непрерывного производства.

Покрытие больших площадей/осаждение толстых слоев пленки

Благодаря простоте, высокой производительности и низким первоначальным затратам, диффузионные насосы остаются основными механизмами для создания вакуума в системах нанесения покрытий на большие площади. Крупногабаритные насосы, используемые для этих целей, поставляются со смотровым стеклом и дренажной системой, а также производятся с фланцами стандартов ASA или ISO.

Покрытия (оптика, электроника, защита)

При низком значении предельно допустимого давления, высокой скорости, производительности и большом форвакуумном давлении на выходе диффузионные насосы компании Agilent являются наилучшим выбором для экспериментальных и производственных систем.

Молекулярные пучки

Форвакуумная эжекторная ступень обеспечивает высокое допустимое давление на входе и большую площадь для эффективной дегазации сжатой жидкости, одновременно минимизируя потери жидкости за счет форвакуумной перегородки даже в условиях высокой производительности. Все насосы компании Agilent включают эжекторную ступень, а также пароструйные ступени полного фракционирования. Насосы серии HS имеют высокую скорость откачки и низкое предельно допустимое давление, а сочетание высокой производительности, высокого допустимого форвакуумного давления и низкого обратного течения делает устройства этой серии лучшими диффузионными насосами. Кроме того, они оснащены полной тепловой защитой.

Техническая спецификация диффузионных насосов от 65 л/с до 3650 л/сек

Техническая спецификация диффузионных насосов от 4500 л/с до 28000 л/сек