МАГНИТОРАЗРЯДНЫЕ НАСОСЫ AGILENT

Магниторазрядные насосы

Комбинированные насосы

ПРИМЕНЕНИЕ

Исследования и разработки

• Ускорители частиц и синхротронные источники света
  В этих установках электрически заряженные частицы (электроны для получения синхротронных источников света или ионы для ускорителей частиц) вынуждены следовать по криволинейной траектории в кольце, которое называют накопительным. Заряженные частицы в течение нескольких часов циркулируют в этом кольце при постоянной энергии в среде высокой степени вакуума. Прежде чем частицы попадут в накопительное кольцо, они должны получить ускорение внутри системы впрыска, состоящей из одного или двух ускорителей (линейного ускорителя и бустерного синхротрона). Все частицы, следующие вдоль своего пути в установке (электроны или ионы), должны циркулировать внутри вакуумной камеры. В противном случае они соударяются с молекулами воздуха и будут быстро поглощены.
• Линейный ускоритель
  Заряженные частицы попадают в первый высокочастотный резонатор, который ускоряет их и в то же время группирует в партии. Затем они ускоряются последовательностью высокочастотных резонаторов вдоль всей длины линейного ускорителя. Вакуум внутри линейного ускорителя может создаваться насосами VacIon Plus компании Agilent с производительностью от 20 до 70 л/с.
• Бустерный синхротрон
  Заряженные частицы, получившие ускорение в линейном ускорителе, получают дополнительное ускорение в бустерном синхротроне. Ускорение производится высокочастотными резонаторами, сквозь которые частицы проходят много раз, всякий раз приобретая дополнительную энергию. Достигая уровень максимальной энергии, пучок частиц переходит из бустерного синхротрона в накопительное кольцо. Вакуум в бустерном синхротроне обычно создается небольшими насосами. Насосы VacIon Plus компании Agilent прекрасно справляются с этой задачей.
• Накопительное кольцо
  Заряженные частицы циркулируют внутри накопительного кольца при постоянной энергии. При движении вдоль кольца частицы проходят изогнутые и прямые участки. Накопительное кольцо помещено внутри туннеля с толстыми бетонными стенами с целью удержания радиации в случае потери пучка.
  В этой части установки абсолютно необходим сверхвысокий вакуум, поскольку частицы перемещаются через накопительное кольцо в течение нескольких часов. Чем меньше остаточного газа, тем более сфокусированным остается пучок. Для этих целей используются крупногабаритные насосы VacIon Plus компании Agilent, имеющие производительность в диапазоне 300-500 л/с.
• Периферийное оборудование
  К периферийному оборудованию относится трубопровод, который транспортирует в вакууме частицы из зоны извлечения в канал синхротронного излучения вне туннеля кольца. Здесь находится прерыватель пучка, а также устройства, изолирующие вакуум кольца от синхротронного канала, который обычно находится при более низком давлении. В этой части установки, как и для накопительного кольца, можно использовать крупногабаритные насосы Agilent.
• Синхротронные каналы
  Экспериментальный зал, находящийся вокруг накопительного кольца, содержит синхротронные пучки, расположенные по касательной к кольцу. Эти пучки обычно используются в разных областях исследований (биология, полимеры и магнетизм) или в экспериментах (дифракция, мессбауэровская спектроскопия и формирование изображений). Некоторые наиболее длинные пучки формируются за пределами экспериментального зала. В этой части обычно используются крупногабаритные насосы производительностью от 300 до 500 л/с. Они могут сочетаться с титаново-сублимационными насосами и криопанелью для откачки даже самых легких молекул.
• Различные проекты
  Некоторые проекты в области фундаментальных исследований, в которых используется наиболее чувствительное оборудование (требующее сверхвысокого вакуума без механических колебаний), могут использовать насосы VacIon Plus компании Agilent. Новые детекторы гравитационных волн (ДГВ), такие как VIRGO в Италии и LIGO в США, используют насосы компании Agilent для получения и поддержания требуемого вакуума.
• Масс-спектрометрия
• Аналитические системы, которые используют сфокусированные пучки заряженных частиц (ПЗЧ) и определенные типы масс-спектрометров, такие как магнитный сектор или переход Фурье, часто требуют использования сверхвысокого вакуума.
• Эти приложения имеют очень строгие требования к рабочим характеристикам для обеспечения чувствительности, разрешения, пропускной способности образцов и воспроизводимости измерений. Подобные требования обусловлены необходимостью анализа все более мелких образцов, особенно полупроводников, при их изготовлении, а также в других высокотехнологичных приложениях.
• Обычно эти приложения требуют получения высокой степени откачки, только насосы VacIon могут удовлетворить требованиям к такому уровню чистоты, поскольку компания Agilent является единственным производителем ионных насосов, который выполняет операцию прогрева каждого насоса в вакуумной печи и поставляет каждый насос с данными о спектре остаточных газов.
• Компания Agilent предлагает модели насосов производительностью от 0,2 до 500 л/с, а также комбинированные насосы и насосы, изготавливаемые по требованиям заказчика, поэтому проектировщики аналитических систем могут рассчитывать на соблюдение всех условий в отношении качества вакуума, пользуясь услугами единственного поставщика.
• Более чем пятидесятилетний опыт изготовления ионных насосов компанией Agilent позволяет поставлять насосы, изготавливаемые по техническим требованиям для специальных приложений.
• Нанотехнологии
• Серия высокопроизводительных ионных насосов VacIon компании Agilent полностью удовлетворяет требованиям к вакууму трансмиссионных электронных микроскопов (TЭM), растровых электронных микроскопов, оборудованию с фокусированными ионными пучками и анализу элементов на поверхности.
• Компания Agilent является единственным производителем специализированных ионных насосов для РЭМ с уникальной конструкцией анода
  Диодные насосы РЭМ с очень низким током утечки идеально подходят для секции пушки колонны.
• Насосы StarCell, имеющие уникальную конструкцию, идеально подходят для работы при высоком давлении колонн. Насосы StarCell также наилучшим образом подходят для работы в среде инертных газов или водорода.
• Компания Agilent завершает предложения для производителей микроскопов полной серией контроллеров/модулей электропитания, включая недорогие источники питания и полнофункциональные контроллеры.
• Дополнительная серия турбонасосов без смазки, имеющих низкий уровень вибраций и идеально подходящих по требованиям к вакууму для камеры образцов, форвакуумных насосов и вакуумметров, позволяет компании Agilent осуществлять поставку всех вакуумных компонентов, необходимых для электронной микроскопии.
• Компания Carl Zeiss SMT — мировой лидер световых, электронных и ионно-оптических технологий для промышленности, научных исследований и опытно-конструкторских разработок - назначила компанию Agilent Technologies (отдел вакуумной продукции) партнером в цепи поставок компании Carl Zeiss SMT.