Без масляные вакуумные системы / Безмасляный вакуумный насос (насосы)
Безмасляные средства откачки и безмасляные насосы являются одними из самых востребованных инструментов для обеспечения вакуума в современных приложениях вакуумной техники. Они обладают целым рядом преимуществ по отношению к традиционным средствам:
- Отсутствие смазок и рабочих жидкостей позволяет обеспечивать высокую чистоту газовой среды в рабочей камере вакуумных агрегатов и насосов, что позволяет выводить на новый уровень технологические процессы, требующие наличие беспримесной газовой среды – исследовательские и экспериментальные задачи ядерной физики, ускорительно-накопительной техники, физики твердого тела, систем анализа и моделирования на атомарном уровне, нанотехнологии, космической техники;
- При откачке активных, агрессивных или вредных газов нет необходимости очищать или утилизировать рабочую жидкость, что дает возможность их активного использования в полупроводниковых процессах, химическом производстве и т. п.;
- Отсутствие необходимости следить за состоянием рабочих жидкостей позволяет внедрять откачные средства в новые сегменты, где прежде их использование было затруднено.
Безмасляный вакуумный насос (сухой вакуумный насос) отличается высоким уровнем производительности в широком диапазоне рабочих давлений. Благодаря этому свойству такие насосы с успехом применяются при откачивании ваккумных полостей значительного объема, а также в системах, которые требуют откачки больших потоков газа. Неоспоримым достоинством, которым обладают безмасляные вакуумные насосы, является высокая надежность, обеспечивающая их долгую работу без перебоев.
Безмасляные пластинчато-роторные вакуумные насосы по принципу действия схожи с масляными, но имеют некоторые отличия. В сухие насосы не требуется добавление смазки, и поэтому лопатки для них изготавливают не из металла, а из специального графитового композита. Графит, в отличие от металла, обладает более низким трением, и поэтому достаточно уплотняет насосную камеру, крайне медленно изнашиваясь.
Как правило, сухие насосы позволяют достигать глубины вакуума (остаточного давления) от 90 до 400 мбар в зависимости от конкретной модели. Таким образом, остаток давления в вакуумированном пространстве будет иметь показатель от 9 до 40 процентов атмосферного давления.
На сегодняшний день безмасляные вакуумные насосы широко используются в наиболее рес рсоемких и важных промышленных агрегатах, таких как высокотемпературные печи, специальные комплексы для выращивания различных кристаллов, установки термоядерной физики, всевозможные химические и полупроводниковые системы. Безмасляные вакуумные насосы не требуют использования специальных смазок, что позволяет значительно расширить область применения таких насосов в приложениях, требующих газовой среды без примесей.
Кроме того, отсутствует необходимость производить утилизацию при взаимодействии с агрессивными газовыми средами. Именно это свойство позволяет активно применять сухие насосы в полупроводниковых процессах и химической промышленности. Не требуется следить за изменением уровней и состоянием рабочих жидкостей, что позволяет внедрять откачиваемые вещества в иные сегменты, в которых ранее их использование по каким-либо причинам было затруднено.
На сегодняшний день налажен широкий выпуск безмасляных вакуумных насосов на многих производствах России, которые по своим эксплуатационным характеристикам не уступают европейским аналогам.
При работе с безмасляным пластинчато-роторным насосом необходимо помнить о том, что износ графитовых лопаток может привести к утечкам газов и уменьшению вакуумной глубины, поэтому нужно внимательно следить за степенью износа графитовых пластинок и вовремя заменять эти детали при необходимости.