Фильтры для сверхтонкой очистки газов (МКФ)

Металлокерамические фильтры (МКФ) не разборные, предназначены для сверхтонкого фильтрования воздуха, азота, водорода, кислорода, аргона, гелия и других газов, химически инертных к материалам корпуса и фильтрующего элемента. Для фильтрации газов, применяемых при изготовлении интегральных схем, кроме фосфина (РН ), окиси углерода (СО) и озона (О ). 3 3 Класс фильтрования U 16. Рекомендованы к использованию в производстве интегральных схем для абсолютного удаления из газов частиц размером не менее 0,01 мкм. Каталог фильтры

Общие Характеристики

Обработка внутренних поверхностей корпуса:

• Электрохимическое полирование.

Подготовка к работе:

• Подготовка к работе и испытаниям в чистых помещениях класса 100.

Упаковка:

• Два полиэтиленовых пакета, заполненных очищенным воздухом аргоном или азотом.

Условия эксплуатации:

• Температура окружающей среды от +5 до +35 0С.
• Пространственная ориентация – произвольная.

Рекомендуемая периодичность замены:

• Два года при предварительном фильтровании газа от частиц размером более 2 мкм.

Фильтры

• МКФ-10
• МКФ-40
• МКФ-140
• МКФ-280