Откачной пост TPS-Mobile
Откачной пост модели TPS-Mobile фирмы Agilent Technologies позволяет обеспечить откачку сразу же после подключения.Портативное, полностью интегрированное решение, поставляемое в виде настольной безмасляной системы малой массы, предназначено для небольших и средних объемов производства или для приложений, требующих высокой производительности, позволяет работать в широком диапазоне скоростей откачки.Возможность использование инновационных турбомолекулярных насосов моделей TwisTorr.
TPS-Mobile - мобильный (передвижной) откачной пост в модификации до 15 возможных конфигураций на базе турбомолекулярных насосов Turbo-V 81, Turbo-V 301, Turbo-V 551 и нового турбомолекулярного насоса Agilent Turbo-V 750 TwisTorr и сухих спиральных (новые уникальные насосы IDP-3, SH-110, PTS 300/600) или пластинчато-роторных насосов модели DS 42, DS 102, DS 202, DS 302 и DS 402. Датчики и вспомогательное оборудование подбираются для работы с определенными приложениями. Программное обеспечение T-Plus Navigator и встроенный изоляционный клапан для форвакуумного насос в сухой версии поставляются в комплекте.
Откачной пост TPS-MOBILE комплектуется из 15 стандартных конфигураций.Форвакуумные насосы:
- Сухой спиральный насос – IDP-3 – 50 л/мин
- Сухой спиральный насос – SH-110 – 90 л/мин
- Сухой спиральный насос – PTS-300 – 250 л/мин(включая изоляционный клапан VPI)
- Сухой спиральный насос – PTS-600 – 420 л/мин(включая изоляционный клапан VPI)
- Масляный пластинчато-роторный насос – DS 42 – 38 л/мин
- Масляный пластинчато-роторный насос – DS 102 – 95 л/мин
- Масляный пластинчато-роторный насос – DS 302 – 237 л/мин
- Масляный пластинчато-роторный насос – DS 402 – 342 л/мин
Высоковакуумные насосы:
- Турбомолекулярный насос Turbo-V 81-M - 77 л/сек
- Турбомолекулярный насос Turbo-V 301 - 280 л/сек
- Турбомолекулярный насос Turbo-V 551 - 550 л/сек
- Турбомолекулярный насос Turbo-V 750 TwisTorr - 700 л/сек
Датчики для измерения глубины вакуума:
- Высоковакуумный датчик IM-500 – 1,3 x 10-3 мбар до 2,6 x 10-9 мбар
- Контроллер XGS 600 для подключения низковакуумного датчика ConvecTorr и высоковакуумного датчика IMG-100
- Широкодиапазонный датчик FRG-700 – 1000 мбар до 2,6 x 10-9 мбар
Высоковакуумные фланцы: KF 40, ISO 63, CFF 40, CFF 63, ISO 100, CFF 100, ISO 160, CFF 160
Turbo-V 81-M с отдельно стоящим контроллером Turbo-V 81-AG Rack |
Turbo-V 301 с отдельно стоящим контроллером Turbo-V 301-AG Rack | Turbo-V 551 с отдельно стоящим контроллером Turbo-V 550 HT | Turbo-V 750 TwisTorr с отдельно стоящим контроллером Turbo-V 750 TwisTorr Rack | ||||||
Высоковакуумный фланец | KF40 / CFF40 | ISO63 / CFF63 | ISO100 / CFF100 | ISO160 / CFF160 | ISO100 / CFF100 | ISO160 / CFF160 | ISO100 / CFF100 | ISO160 / CFF160 | |
Скорость откачки, л/сек | |||||||||
Азот, (N2) | 50 | 77 | 250 | 280 | 350 | 550 | 370 | 700 | |
Гелий, (He) | 56 | 65 | 220 | 230 | 450 | 600 | 500 | 680 | |
Водород, (H2) | 46 | 50 | 200 | 210 | 450 | 510 | 470 | 580 | |
Предельное давление | |||||||||
Сухой спиральный насос | 5 x 10-9 мбар | 1 x 10-10мбар | |||||||
Пластинчато-роторный насос | 5 x 10-10 мбар | 1 x 10-10мбар | |||||||
Возможность дополнительной комплектации средством измерения глубины вакуума в диапазоне: | |||||||||
от 1,3 x 10-3 мбар до 2,6 x 10-9 мбар |
Высоковакуумный датчик IM-500 с фланцем KF 25 / KF 40 / CFF 40 | ||||||||
от 1000 мбар до 5 x 10-9 мбар |
Контроллер XGS 600 для подключения низковакуумного датчика ConvecTorr с фланцем KF 25 и высоковакуумного датчика IMG-100 KF 25 | ||||||||
от 1000 мбар до 2,6 x 10-9 мбар |
Широкодиапазонный датчик FRG-700 / FRG 720 с фланцем KF 25 / CFF 40 |
TPS-Compact / Mini-Task AG81
Использование широкодиапазонного активного датчика давления
- Комбинированный активный датчик FRG-700 / FRG-720, рассчитанный на весь диапазон давлений: датчик Пирани и датчик с холодным катодом измеряют диапазон от атмосферного давления до 5 x 10-9 мбар
- Возможность получения данных о давлении по трем независимым каналам
- последовательного интерфейса
- аналогового выхода
- датчик можно подключать/отключать от откачного поста TPS-Compact / Mini-Task во время работы
- TPS-Compact: улучшенные вакуумные характеристики
- Откачка возможна, начиная с атмосферного давления, и до 10-9 мбар (Торр)
- Наиболее высокая скорость откачки и коэффициент сжатия для газов H2 / He
- Очень высокое допустимое давление в форвакуумной линии
- Очень высокая производительность
- Настольный и мобильный TPS-Compact
Приводится в действие турбомолекулярными насосами компании Agilent в составе безмасляных спиральных или пластинчато-роторных насосов. - Настольные TPS-Bench: настольные и переносные решения
- Мобильные TPS-Mobile: перевозимые на тележке высокопроизводительные системы
- Решения, конфигурируемые по указанию заказчика
- Безмасляные спиральные насосы
- Не требуют технического обслуживания, замена концевых уплотнителей не представляет сложности
- Встроенный изоляционный клапан включен в комплект поставки
- IDP-3: наиболее малогабаритный спиральный насос, максимальная скорость откачки 50 л/мин, максимально достижимое давление 3,3 x 10-1 мбар
- SH-110: максимальная скорость откачки 90 л/мин
- Насосы TriScroll модели PTS 300 и PTS 600: скорость откачки 250 л/мин и 500 л/мин
- Уникальный турбомолекулярный насос компании Agilent
- Инновационная технология TwisTorr высоковакуумного молекулярного насоса
- Не требует техобслуживания
- Повышенный коэффициент сжатия и скорость откачки
- Широкий диапазон скоростей откачки от 46 до 700 л/c
- Пластинчато-роторные насосы
- Широкий диапазон скоростей откачки от 38 л/мин до 240 л/мин
- Двухступенчатая конструкция
- Принудительная циркуляция масла
- Газобалластный клапан
- Наличие клапана, препятствующего обратному всасыванию, и вентиляционного устройства
- Непосредственное считывание показаний давления с платы встроенной в корпус откачного поста
- Крупный дисплей для отображения показаний давления
- Выбор единиц измерения: Торр, Па и мбар
- I/O и последовательный интерфейс
- Программное обеспечение T-Plus Navigator для подключения к компьютеру
- ПРИМЕНЕНИЕ
- Электронная микроскопия и масс-спектроскопия
Откачные посты является превосходным инструментом для поддержания вакуума в колонне электронного микроскопа во время проведения технического обслуживания или ремонта устройства.
Безмасляная система гарантирует отсутствие загрязнения колонны.
- Физика высоких энергий и исследовательские центры.
Откачные посты можно использовать в любой лаборатории, где требуется создание высокого вакуума в камерах любого объема. Новое поколение электронных компонентов и наличие дисплея для отображения значения глубины вакуума обеспечивают точность осуществления технологического процесса.
- Применение в промышленности
Откачной пост Mini-Task AG81 может создавать и поддерживать требуемый уровень разрежения в раздельных камерах промышленных систем во время их обслуживания или ремонта.
- Применение в медицине
-
Медицинские ускорители для лечения онкологических заболеваний.
- Электронная микроскопия и масс-спектроскопия
Новая интегрированная турбонасосная система TPS-compact является превосходным инструментом для поддержания вакуума в колонне электронного микроскопа во время проведения техобслуживания или ремонта устройства. Безмасляная система гарантирует отсутствие загрязнения колонны.
- Промышленности
Турбонасосная система TPS-compact может создавать и поддерживать требуемый уровень разрежения в раздельных камерах промышленных систем во время их обслуживания или ремонта.
- Производство полупроводников
Система TPS-compact отлично подходит для откачки загрузочных камер. Безмасляная конструкция обеспечивает чистоту процесса. Система TPS-compact может монтироваться в любом положении, что делает ее пригодной для большинства конфигураций системы.
- Физика высоких энергий и исследовательские центры
Новую турбонасосную систему можно использовать в любой лаборатории, где требуется создание высокого и сверхвысокого вакуума в камерах. Новое поколение электронных узлов и наличие дисплея для отображения величины давления обеспечивают точность осуществления технологического процесса.
Применение
- Откачка до сверхвысокого вакуума
- Обработка электронных ламп и трубок
- Регенерация крионасосов
- Работа с системами сверхвысокого вакуума
- Откачка систем до высокого и сверхвысокого вакуума