UNIVEX 350
Основные области применения:
- Вакуумное напыление в исследованиях и разработках
- Предварительные производственные испытания
- Специальные эксперименты
Преимущества данной установки:
- Модульная конструкция системы
- Удобный доступ к основным узлам вакуумной камеры
- Установка очень проста в эксплуатации
- Система откачки адаптирована для индивидуального использования
- Возможность высокочастотного распыления
Система откачки включает в себя:
- Двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос TRIVAC D 25 B
- Турбомолекулярный вакуумный насос TURBOVAC 600 С
Наименование параметра |
Значение |
1 Вакуумная камера Материал Внутренние размеры камеры Ширина, мм Глубина, мм Высота, мм Соединения: Передняя часть Задняя часть Боковые стороны |
Нержавеющая сталь 370 380 500 Дверь со смотровым окном DN 160 ISO-KF (Откачная система), 2x DN 16 ISO-KF, 2 x DN 40 ISO-KF
DN 160 ISO-K |
2 Высоковакуумный насос Номинальная быстрота действия по N2 (азоту), м3/ч Блок питания |
TURBOVAC 600 °C 2016 TURBOTRONIK NT 20 |
3 Форвакуумный насос Номинальная быстрота действия, м3/ч |
TRIVAC D 25 B 29,5 |
4 Контроллер |
Программируемый контроллер с графическим сенсорным экраном |
5 Питание от сети трехфазного переменного тока с частотой 50 Гц, напряжением, В |
380 |
6 Давление в системе охлаждения, бар |
От 4 до 7 |
7 Расход охлаждающей жидкости, л/мин |
1 |
8 Температура питающей жидкости, оС |
от +15 до +25 |
9 Степень сжатия по воздуху, бар |
от 4 до 7 |
10 Масса, кг |
400 |
Наименование параметра |
Значение |
1 Вакуумная камера Материал Внутренние размеры камеры Ширина, мм Глубина, мм Высота, мм Соединения: Передняя часть Задняя часть Боковые стороны |
Нержавеющая сталь 370 380 500 Дверь со смотровым окном DN 160 ISO-KF (Откачная система), 2x DN 16 ISO-KF, 2 x DN 40 ISO-KF
DN 160 ISO-K |
2 Высоковакуумный насос Номинальная быстрота действия по N2 (азоту), л/с Блок питания |
TURBOVAC 600 °C 2016 TURBOTRONIK NT 20 |
3 Форвакуумный насос Номинальная быстрота действия, м3/ч |
TRIVAC D 25 B 29,5 |
4 Контроллер |
Программируемый контроллер с графическим сенсорным экраном |
5 Питание от сети трехфазного переменного тока с частотой 50 Гц, напряжением, В |
380 |
6 Давление в системе охлаждения, бар |
От 4 до 7 |
7 Расход охлаждающей жидкости, л/мин |
1 |
8 Температура питающей жидкости, оС |
от +15 до +25 |
9 Степень сжатия по воздуху, бар |
от 4 до 7 |
10 Масса, кг |
400 |