г. Москва, 
sales@avrora-arm.ru
+7 495 956-62-18
Высоковакуумная установка ВК-9
Установка УВН-4МЭУ
УВН-4МЭУ - высокотехнологическая установка вакуумного напыления (распыление дуговым или магнетронным методами). Установка периодического действия для напыления плоских и объемных изделий.
Установка УВН-4МЭУ, предназначена для нанесения металлических и диэлектрических тонких плёнок на изделия из пластика, металла, керамики и т. д., имеющих сложную форму.
Внутрикамерное оборудование
В установке (стандартная конфигурация) расположены:
- две магнетронные распылительные системы;
- два протяжённых электродуговых испарителя с охлаждаемым анодом;
- система очистки/травления в плазме импульсного тлеющего разряда;
- ионный источник;
- система нагрева изделий;
- система плазменной полимеризации.
Установка оснащена системой планетарного вращения изделий с приёмным устройством.
Внутрикамерное оборудование может меняться в зависимости от требований заказчика.
|
Наименование параметра |
Значение |
|
1 Производительность установки, м3/цикл, не менее |
17 |
|
2 Рабочее давление в вакуумной камере, Па (мм рт.ст.), не более: перед напылением |
6,65·10-3 (5·10-5) |
|
в процессе напыления |
6,65·10-2 – 6,65∙10-3(5·10-4 - 5·10-5) |
|
3 Установленная мощность, Вт, не более |
150000 |
|
4 Расход охлаждающей воды при температуре (288±5) К (15±5) 0С и давлении на входе в водораспределитель 2∙105 Па (2 кгс/см2), л/ч, не более |
10000 |
|
5 Время откачки камеры до давления 6,65∙10-3 Па, мин, не более |
40 |
|
6 Габаритные размеры, мм, не более: длина ширина высота |
2776 4363 2412 |
|
7 Масса, кг, не более |
4100 |
Вся информация на сайте о товарах и ценах носит справочный характер и не является публичной офертой. Производитель оставляет за собой право изменять характеристики товара, его внешний вид и комплектность без предварительного уведомления продавца