![Высоковакуумная установка ВК-9](data/armatura03/vakma/9600.jpg)
Установка УВН-4МВ
Вакуумная напылительная установка УВН-4МВ предназначена для нанесения магнетронным распылением металлов в вакууме на нити (волокна) или рулонные материалы.
Принцип работы.
Принцип работы установки основан на распылении материала мишени, которое осуществляется ионами рабочего газа, образующимися в плазме аномального тлеющего разряда, в скрещенных электрических и магнитных полях.
Питание установок от сети переменного трёхфазного тока напряжением 380/220 В, частотой 50 Гц.
Наименование параметра |
Значение |
1 Производительность установки, м3/цикл, не менее |
17 |
2 Предельное остаточное давление в камере при температуре окружающего воздуха от +10 0С до +25 0С, Па (мм рт.ст.), не более |
1,33·10-3 (1·10-5) |
3 Установленная мощность, Вт, не более |
154500 |
4 Расход охлаждающей воды температурой от +10 0С до +20 0С, л/ч, не более |
9500 |
5 Габаритные размеры, мм, не более: длина ширина высота |
7720 4500 2450 |
6 Масса, кг, не более |
5750 |