PHOENIX L300i DRY

Наименование параметра

Значение

1 Чувствительность по гелию, не менее, мбар×л/с

  по входу

  со щупом

≤ 3×10^-11

˂ 1 × 10^-7

2 Чувствительность по гелию, не более, мбар×л/с

>0,1

     3 Макс. допустимое входное давление, мбар (мм рт.ст.)

15 (11,25) 

     4 Быстрота действия в процессе откачки

50 Гц, м³/ч

60 Гц, м³/ч

1,6

1,8

     5 Быстрота действия по гелию на входе, л/с            

>2,5

     6 Диапазон измерения скорости утечки, мбар×л/с

от 1×10^-11 до 1×10^-1

7 Время выхода на режим, мин

˂ 2

8 Масс-спектрометр

магнитное секторное поле 180°

9 Определяемые массы, а.е.м.

2, 3 и 4

10 Измерительный патрубок, DN

1 × 25 ISO-KF

     11 Размеры (Ш×В×Д), мм

495 × 456 × 314

12 Масса, кг

35,5