Наименование параметра
|
Значение
|
1 Чувствительность по гелию, не менее, мбар×л/с
по входу
со щупом
|
≤ 5×10-12
˂ 1 × 10-7
|
2 Чувствительность по гелию, не более, мбар×л/с
|
>0,1
|
3 Соединительные фланцы для тестируемых установок,DN
|
25 ISO -KF
|
4 Быстрота действия в процессе откачки
c насосом SCROLLVAC SC 30 DL , м3/ч
|
прибл. 25
|
5 Быстрота действия по гелию по входу, л/с
|
>2,5
|
6 Время выхода на режим, мин
|
˂ 2
|
7 Размеры (Ш×В×Д), мм
|
450 × 1200 × 1150
|