PHOENIX L320i Fab

Наименование параметра

Значение

1 Чувствительность по гелию, не менее, мбар×л/с

  по входу

  со щупом

≤ 5×10^-12

˂ 1 × 10^-7

2 Чувствительность по гелию, не более, мбар×л/с

>0,1

3 Соединительные фланцы для тестируемых установок,DN

25 ISO -KF

     4 Быстрота действия в процессе откачки

c насосом SCROLLVAC SC 30 DL , м³/ч

 прибл. 25

     5 Быстрота действия по гелию по входу, л/с            

>2,5

6 Время выхода на режим, мин

˂ 2

     7 Размеры (Ш×В×Д), мм

450 × 1200 × 1150