PHOENIX L340i

Наименование параметра

Значение

1 Чувствительность по гелию, не менее, мбар×л/с

  по входу

≤ 5×10^-12

2 Чувствительность по гелию (по входу), не более, мбар×л/с

>0,1

3 Соединительные фланцы для тестируемых установок, DN

40 ISO -KF

     4 Быстрота действия в процессе откачки

c насосом TRIVAC D 25 B , м³/ч

c насосом SCROLLVAC SC 30 DL (60 Гц), м³/ч

прибл. 25

прибл. 25

     5 Быстрота действия по гелию на входе, л/с            

>2,5

6 Время выхода на режим, мин

˂ 2

     7 Размеры (Ш×В×Д), мм

780 × 1000 × 1000